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极限真空度的分析
发表日期:2020-12-14 16:39 浏览次数:

在被抽器件或工作室内获得所需的极限真空和工作真空度。
极限真空度是指器件在无漏放气时所达到的真空度,工作真空度是指在器件进行真空处理时所能维持的真空度。真空处理时往往要放出大量气体,这时的工作真空度将显著地低于极限真空度。极限真空度和工作真空度各有其重要性,它们从不同侧面对器件质量产生影响。例如在用氧化物阴极器件的排气真空系统中,电10-2极除气和阴极分解会大量出气,如果工作真空度差,则可能出现电极被氧化及阴极激活欠佳的结果。但器件最后封离时已基本上无漏放气,器件内的真空度就取决于排气真空系统的极限真空度。


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